高端裝備制造
一種振動(dòng)輔助的納米輥壓裝置
本發(fā)明涉及一種振動(dòng)輔助的納米輥壓裝置,首先，將機(jī)架水平放置于實(shí)驗(yàn)臺(tái)上，然后調(diào)節(jié)X?Y軸位移平臺(tái)使Z向振動(dòng)裝置位于壓印輥的正下方，再將已涂膠襯底固定于襯底卡盤中心，調(diào)節(jié)微調(diào)裝置使壓印輥水平，然后控制Z軸位移平臺(tái)下移使壓印輥與壓印膠微接觸，啟動(dòng)加熱裝置對(duì)襯底進(jìn)行加熱，加熱完畢后開始?jí)河。瑝河⊥瑫r(shí)Z向振動(dòng)裝置開始振動(dòng)，然后冷卻脫模，最后控制Z軸位移平臺(tái)上升，壓印結(jié)束。本發(fā)明中采用Z向振動(dòng)裝置，使模板與壓印膠之間產(chǎn)生間隙接觸，減少兩者之間的粘附力，通過多次間隙接觸進(jìn)行摩擦產(chǎn)熱，使得壓印膠融化流動(dòng)，提高壓印膠的填充度，再通過微調(diào)裝置調(diào)節(jié)壓印輥水平，冷卻裝置進(jìn)行降溫，進(jìn)一步提高微納結(jié)構(gòu)的精度與保真度。
長(zhǎng)春工業(yè)大學(xué)
授權(quán)發(fā)明
