2026年02月23日 星期一
| 專利名稱 | 一種振動輔助的納米輥壓裝置 | ||
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| 申請?zhí)?專利號 | CN201910617379.3 | 專利權(quán)人（第一權(quán)利人） | 長春工業(yè)大學 |
| 申請日 | 2019-07-10 | 授權(quán)日 | 2024-08-23 |
| 專利類別 | 授權(quán)發(fā)明 | 戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類 | 高端裝備制造 |
| 技術(shù)主題 | 納米結(jié)構(gòu)|壓印|物理學 | ||
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 光機械設(shè)備 | ||
| 意向價格 | 具體面議 | ||
| 專利概述 | 本發(fā)明涉及一種振動輔助的納米輥壓裝置,首先，將機架水平放置于實驗臺上，然后調(diào)節(jié)X?Y軸位移平臺使Z向振動裝置位于壓印輥的正下方，再將已涂膠襯底固定于襯底卡盤中心，調(diào)節(jié)微調(diào)裝置使壓印輥水平，然后控制Z軸位移平臺下移使壓印輥與壓印膠微接觸，啟動加熱裝置對襯底進行加熱，加熱完畢后開始壓印，壓印同時Z向振動裝置開始振動，然后冷卻脫模，最后控制Z軸位移平臺上升，壓印結(jié)束。本發(fā)明中采用Z向振動裝置，使模板與壓印膠之間產(chǎn)生間隙接觸，減少兩者之間的粘附力，通過多次間隙接觸進行摩擦產(chǎn)熱，使得壓印膠融化流動，提高壓印膠的填充度，再通過微調(diào)裝置調(diào)節(jié)壓印輥水平，冷卻裝置進行降溫，進一步提高微納結(jié)構(gòu)的精度與保真度。 | ||
| 圖片資料 |
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| 合作方式 | 具體面議 | ||
| 聯(lián)系人 | 戚梅宇 | 聯(lián)系電話 | 13074363281 |
