專利名稱 一種用于雙光子聚合加工的三維橢圓運動工作臺
申請?zhí)?專利號 CN201510621673.3 專利權(quán)人（第一權(quán)利人） 長春工業(yè)大學(xué)
申請日 2015-09-27 授權(quán)日 2017-07-21
專利類別 授權(quán)發(fā)明 戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類 高端裝備制造
技術(shù)主題 高頻波|橢圓運動|鉸鏈角度|工程學(xué)|光子|超精密|橢圓|聚合|運動參數(shù)|電|高頻
應(yīng)用領(lǐng)域 照相制版工藝曝光裝置|微光刻曝光設(shè)備
意向價格 具體面議
專利概述 本發(fā)明涉及一種用于雙光子聚合加工的三維橢圓運動工作臺，屬于超精密加工領(lǐng)域。由X向、Y向、Z向三個壓電疊堆驅(qū)動具有柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)的工作臺，可實現(xiàn)X、Y、Z三個方向的微動，三個壓電疊堆分別由預(yù)緊螺釘進行預(yù)緊，工作臺的各個方向由單獨的壓電疊堆驅(qū)動，避免了其他方向運動對該驅(qū)動方向的擾動；對三個壓電疊堆通以頻率相同而相位差不為零的驅(qū)動信號，可以實現(xiàn)工作臺在空間的二維橢圓運動或三維橢圓運動，通過控制橢圓運動參數(shù)，可調(diào)整橢圓的方位和大小，工作臺X向、Y向的柔性鉸鏈采用直梁式鉸鏈首尾相連組合而成；本發(fā)明涉及的工作臺加工簡單，體積較小且有較好的載物空間，可實現(xiàn)高頻、連續(xù)的三維橢圓運動。
圖片資料 一種用于雙光子聚合加工的三維橢圓運動工作臺
合作方式 具體面議
聯(lián)系人 戚梅宇 聯(lián)系電話 13074363281