專利名稱 一種超聲輔助輥對(duì)輥熱納米壓印裝置及方法
申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào) CN201710871085.4 專利權(quán)人（第一權(quán)利人） 長(zhǎng)春工業(yè)大學(xué)
申請(qǐng)日 2017-09-25 授權(quán)日 2024-11-19
專利類別 授權(quán)發(fā)明 戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類 高端裝備制造
技術(shù)主題 機(jī)械工程|物理學(xué)
應(yīng)用領(lǐng)域 化學(xué)工程|工藝技術(shù)|技術(shù)創(chuàng)新|材料科學(xué)|高端裝備
意向價(jià)格 具體面議
專利概述 本發(fā)明涉及一種超聲輔助輥對(duì)輥熱納米壓印裝置及方法，包括機(jī)架、儲(chǔ)料裝置、調(diào)節(jié)裝置、加熱板等，其中儲(chǔ)料裝置和加熱板通過(guò)螺釘與機(jī)架連接，帶式模板兩端分別套在壓印下輥與脫模下輥上，超聲發(fā)生裝置一通過(guò)振子法蘭盤與調(diào)節(jié)裝置連接，通過(guò)雙頭螺柱與壓印上輥連接，調(diào)節(jié)裝置通過(guò)螺栓固定在機(jī)架上，超聲發(fā)生裝置二通過(guò)振子法蘭盤與機(jī)架連接，通過(guò)雙頭螺柱與脫模上輥連接。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是：采用帶式模板，延長(zhǎng)冷卻固化時(shí)間，提高微結(jié)構(gòu)分辨率，使壓印圖案精度更高。
圖片資料 一種超聲輔助輥對(duì)輥熱納米壓印裝置及方法
合作方式 具體面議
聯(lián)系人 戚梅宇 聯(lián)系電話 13074363281