專利名稱 一種可制備多級(jí)微結(jié)構(gòu)的裝置
申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào) CN202110249538.6 專利權(quán)人（第一權(quán)利人） 長(zhǎng)春工業(yè)大學(xué)
申請(qǐng)日 2021-03-06 授權(quán)日 2024-07-12
專利類別 授權(quán)發(fā)明 戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類 高端裝備制造
技術(shù)主題 微觀結(jié)構(gòu)|固定框架|滑動(dòng)觸點(diǎn)|底板
應(yīng)用領(lǐng)域 光機(jī)械設(shè)備
意向價(jià)格 具體面議
專利概述 本發(fā)明涉及一種可制備多級(jí)微結(jié)構(gòu)的裝置，屬于納米壓印領(lǐng)域。可升降平臺(tái)一固定在機(jī)架的左側(cè)板上，可升降平臺(tái)二固定在機(jī)架的右側(cè)板上，微調(diào)節(jié)裝置一通過螺釘固定在可升降平臺(tái)一上，微調(diào)節(jié)裝置二通過螺釘固定在可升降平臺(tái)二上，固定架左側(cè)通過螺釘與可升降平臺(tái)一連接、右側(cè)通過螺釘與可升降平臺(tái)二連接，壓印裝置通過圓柱卡扣與固定架滑動(dòng)接觸，支撐臺(tái)通過螺釘固定在XY位移平臺(tái)上，XY位移平臺(tái)通過螺釘固定在機(jī)架的底板上。優(yōu)點(diǎn)是堆疊精度高，使光輥上的微結(jié)構(gòu)與平面襯底更好的線性接觸，提高了堆疊的精度；便于多層堆疊：能夠?qū)⒐廨伾蠅河『玫膯螌游⒔Y(jié)構(gòu)在平面襯底上進(jìn)行不同層數(shù)的堆疊，使得制備多級(jí)微結(jié)構(gòu)不受裝置的限制。
圖片資料 一種可制備多級(jí)微結(jié)構(gòu)的裝置
合作方式 具體面議
聯(lián)系人 戚梅宇 聯(lián)系電話 13074363281