專利名稱 一種制造超大面積納米壓印無縫圖案的裝置及方法
申請?zhí)?專利號 CN201710990339.4 專利權(quán)人（第一權(quán)利人） 長春工業(yè)大學(xué)
申請日 2017-10-22 授權(quán)日 2024-01-02
專利類別 授權(quán)發(fā)明 戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類 材料化工
技術(shù)主題 機械工程|UV固化|光刻膠|紫外線|物理學(xué)|材料科學(xué)
應(yīng)用領(lǐng)域 照相制版工藝涂層設(shè)備|照相制版工藝曝光裝置|微光刻曝光設(shè)備
意向價格 具體面議
專利概述 本發(fā)明涉及一種制造超大面積納米壓印無縫圖案的裝置及方法，涉及紫外納米壓印領(lǐng)域。收卷輥用于將襯底卷收起來，放卷輥用于放出襯底，滾筒壓印裝置位于收卷輥和放卷輥之間，收卷輥與放卷輥工作時保持同步旋轉(zhuǎn)，涂膠裝置中含有光刻膠，用于在襯底上涂抹一層均勻的光刻膠，滾筒壓印裝置用于將壓印模板上的微小圖案壓印于涂完膠的襯底上，支撐輥一，支撐輥二，支撐輥三，支撐輥四，均為可透光的圓柱形，支撐輥二，支撐輥三，支撐輥四中均放置有紫外固化裝置。優(yōu)點是精確調(diào)控各模板以及紫外燈可固化的距離，能夠制造出超大面積的納米壓印無縫圖案，加入了多個壓印輥同時進行壓印超大型圖案，提高了納米壓印的生產(chǎn)效率。
圖片資料 一種制造超大面積納米壓印無縫圖案的裝置及方法
合作方式 具體面議
聯(lián)系人 戚梅宇 聯(lián)系電話 13074363281